技術參數：

性能特點：

蔡司EVO 10

EVO 10可選配背散射探測器和Element EDS系統，以非常實惠的價格帶您走進掃描電子顯微鏡的世界。您如今在EVO上的投資可確保應對未來需要更大空間和更多端口的應用。

蔡司EVO 15

EVO 15在分析應用領域表現十分出色。選擇更大的真空樣品倉，您可盡享多功能、多用途的顯微鏡中心或工業質量保證實驗室解決方案。

蔡司EVO 25

EVO 25是您的大型樣品解決方案。選配150 mm Z軸行程樣品臺，可進一步擴展其功能，即使在傾斜的情況下也可檢測重達5 kg的樣品。此外，大型真空倉將能夠容納多個分析探測器，以滿足嚴苛的顯微分析應用需求。

• 輕松使用豐富功能

SmartSEM Touch，只需指尖輕觸便能輕松控制交互式工作流。操作簡單易上手，大大減少了培訓的工作量及成本，即便是新手用戶也能在幾分鐘內采集到出色的圖像。此外，該用戶界面還可為需要自動化工作流來完成可重復檢測任務的工業操作員提供幫助。

• 出色的圖像質量

EVO在獲取無涂層和未改性樣品的優良數據方面具備優勢。EVO使含水與重度污染的樣品保留其原生狀態，從而保護數據質量。此外，六硼化鑭電子槍還能增強分辨率、襯度和信噪比，這在面對具有挑戰性的成像與顯微分析時非常重要。

• EVO能與其他顯微鏡良好互聯

EVO可作為半自動化和多模式工作流的一部分，無縫銜接再定位感興趣區域，并且保障多種模式下收集數據的完整性。它可將光學與電子顯微鏡的數據相結合，進行材料表征或部件檢驗，也可將EVO與蔡司光學顯微鏡結合使用，進行關聯顆粒度分析。

• 簡單直觀的界面讓操作更得心應手

在實驗室中，操作SEM對于電子顯微鏡專家而言肯定游刃有余。但SEM的操作對非專業用戶而言依然具有挑戰，比如學生、新手或質量工程師等，他們往往也需要從SEM獲取數據。因此，EVO在設計時便考慮到了這一點，它可選的用戶界面能同時滿足非顯微鏡專家和有經驗的顯微鏡專家的操作需求

• 邁入檢測應用新時代

使用六硼化鑭（LaB6）電子槍獲取更豐富的數據

相較傳統發針型鎢燈絲，六硼化鑭陰極的電子發射可以按您所需，保證圖像的每個細微之處都得到展示。您將從下面兩方面獲益：

在電子探針大小（如分辨率）不變的情況下，您可以獲得更高的探針電流，更輕松地進行圖像導航和優化。

在探針束流（信噪比）不變的情況下，束流直徑要小得多，可以提高圖像分辨率。

應用范圍：

• 制造與裝配工業

質量分析/質量控制

失效分析/金相研究

清潔度檢驗

符合ISO 16232和VDA 19第1第2部分標準的顆粒形態分析和化學分析

非金屬夾雜物分析

• 半導體和電子元件

電子元件、集成電路、MEMS器件和太陽能電池的可視化檢查

銅線表面和晶體結構檢測

金屬腐蝕檢測

截面失效分析

焊腳檢測

電容器表面成像

• 鋼和其他金屬

金屬樣品和夾雜物的結構、化學特性及其晶體結構的成像和分析

相、顆粒度、焊接和失效分析

• 原材料

地質樣品的形貌、礦物學和成分分析

金屬結構、斷裂和非金屬夾雜物的成像與分析

微粉化和制粒過程中原料化學品和活性成分的形貌與成分分析

• 材料科學研究

研究應用中表征導電和非導電材料樣品

生命科學

研究植物、動物和微生物

• 法醫學

槍擊殘留物（GSR）

涂料和玻璃分析

鈔和硬幣偽造

頭發和纖維對比

法醫毒理學